原 料 气:空气、氢气、氧气、氮气、氩气等气体,露点≤-40℃。
净化后质量指标:经脱水干燥、露点≤- 70℃,或根据用户具体情况而定,经后级净化,可脱除空气中硫化物、卤化物、碳氢等等杂质,使空气达到洁净要求。
操 作 压 力:输入≥ 0.8MPa( 压力愈高愈好 ) ,输出压力略低于输入压力
处 理 气 量:1—1000Nm 3 /h
适应范围:实验室气体分析、载气、标准气/混合气配气、半导体材料生产、有色金属加工、精细化工。